您的位置： > 主頁 > 臭氧課堂光伏產(chǎn)業(yè)中抗pid臭氧發(fā)生器制備氧化硅工藝

光伏產(chǎn)業(yè)中抗pid臭氧發(fā)生器制備氧化硅工藝

抗PID晶體硅太陽能電池的制備方法，該抗PID晶體硅太陽能電池在硅基片和氮化硅之間制備一層氧化硅，從而抗PID的效果，所述氧化硅使用臭氧氧化工藝制備而成。

所述臭氧氧化工藝包括步驟：

1）提供一經(jīng)過擴(kuò)散處理后的硅基片；

2）對(duì)所述硅基片進(jìn)行清洗；

3）將所述硅基片至臭氧臭氧中，使硅基片的擴(kuò)散面在臭氧中氧化，直至該氧化作用自然停止，得到所需的氧化硅層。

硅基片清洗包括：使用HF溶液清洗去除所述硅基片表面的磷硅玻璃層，所述HF溶液的體積濃度為2?8％，清洗溫度為10 ?30°C，清洗時(shí)間為10?200s。

所述臭氧由臭氧發(fā)生器提供，該臭氧的濃度為5?100ppm。氧化動(dòng)作所需的處理時(shí)間為3s?60min，溫度為15?25°C，得到的所述氧化娃層的厚度為0.6?2nm。

步驟2）和步驟3）之間的間隔時(shí)間小于30min。

所述臭氧氧化工藝之后，還包括步驟4）：在氧化硅層表面沉積氮化硅層。所述氮化硅層的厚度在80?90nm之間。

所述步驟3）和步驟4）之間的間隔時(shí)間小于30min，或者當(dāng)所述步驟3）和步驟4）之間的間隔時(shí)間超過30min時(shí)，對(duì)所述硅基片實(shí)施一清洗動(dòng)作，以去除表面的自然氧化層。

該步驟基于蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司2014-04-03提交的《一種抗pid晶體硅太陽能電池制作方法》

北京同林提供光伏行業(yè)抗PID用的臭氧發(fā)生器，歡迎咨詢！

半導(dǎo)體用高濃度可調(diào)臭氧發(fā)生器

: 養(yǎng)殖場臭氧消毒機(jī)調(diào)試現(xiàn)場

養(yǎng)殖場臭氧消毒機(jī)調(diào)試現(xiàn)場養(yǎng)殖場臭氧消毒機(jī)養(yǎng)殖場臭氧消毒機(jī)北京同林300g養(yǎng)殖場移動(dòng)臭氧消毒機(jī)，安裝調(diào)試完成，客戶反饋良好！...

: 某大型藥廠潔凈間臭氧消毒工作現(xiàn)場

某大型藥廠潔凈間臭氧消毒工作現(xiàn)場藥廠潔凈間消毒一般采用管道外置式臭氧消毒方式，直接通過管道將臭氧通道中央空調(diào)系統(tǒng)，可對(duì)數(shù)十個(gè)房間同時(shí)消毒。...

: 3S-Y移動(dòng)臭氧消毒機(jī)客戶開機(jī)現(xiàn)場

3S-Y移動(dòng)臭氧消毒機(jī)客戶開機(jī)現(xiàn)場 3S-Y移動(dòng)式臭氧消毒機(jī)臭氧產(chǎn)量從50g/H，可針對(duì)100-150平車間進(jìn)行消毒，操作簡單、帶定時(shí)功能，方便快捷！...

: 某生物制藥公司三臺(tái)壁掛臭氧消毒機(jī)發(fā)貨中

三臺(tái)壁掛臭氧消毒機(jī)發(fā)貨中北京某生物制藥公司又采購3臺(tái)3S-K壁掛式臭氧發(fā)生器，對(duì)包材室等空間消毒。...

: 制藥廠潔凈間用臭氧發(fā)生器發(fā)貨驗(yàn)機(jī)中

制藥廠潔凈間用臭氧發(fā)生器發(fā)貨驗(yàn)機(jī)中同林制藥廠用臭氧發(fā)生器一般采用水冷降溫，管道式安裝，臭氧濃度達(dá)標(biāo)穩(wěn)定。...

: 北京科興中型臭氧發(fā)生器施工現(xiàn)場

北京科興中型臭氧發(fā)生器施工現(xiàn)場科興控股生物技術(shù)有限公司是一家總部位于北京的生物高新技術(shù)企業(yè)，目前在納斯達(dá)克全球精選市場（NasdaqGS：SVA）上市。公司通過全資子公司科興控...

: 天津某食品廠訂購3臺(tái)3S-Y50臭氧消毒機(jī)

天津某食品廠訂購3臺(tái)3S-Y50臭氧消毒機(jī)用于空間消毒，3S-Y50臭氧消毒機(jī)風(fēng)量大，濃度高，耐潮濕，適合食品廠車間消毒使用，使用面積在600-700立方。 3S-Y系列有30g-70g。...

: 溫氏牧業(yè)臭氧消毒檢測(cè)現(xiàn)場

北京同林為溫氏牧業(yè)分公司提供臭氧消毒解決方案，臭氧發(fā)生器+臭氧濃度檢測(cè)。臭氧發(fā)生器連續(xù)運(yùn)行，濃度不低于30ppm，并通過臭氧在線檢測(cè)儀對(duì)濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)。溫氏食品集團(tuán)股...