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熱門關(guān)鍵詞: In-situ洗凈 碳素纖維改質(zhì) 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導(dǎo)體襯底成膜
效果
利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質(zhì)的金屬氧化物薄膜。
利用純臭氧作為氧氣源的優(yōu)越性得到國際認(rèn)知。
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