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高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長方案

MBE(分子束外延)用氧氣源適用案例

高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長方案(圖1)

效果

利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質(zhì)的金屬氧化物薄膜。

利用純臭氧作為氧氣源的優(yōu)越性得到國際認(rèn)知。

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